產品類別:精密半導體清洗設備
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產品(pǐn)功(gōng)能:
◆采用一(yī)套多臂氣動機械手傳動(dòng),定位精準,效率高。
◆人機界麵,PLC程序控製,觸摸屏操作。
◆水係型清(qīng)洗劑、DI水(shuǐ)、IPA清(qīng)洗幹燥。
◆間接式導熱(rè)油加熱方式,全自動IPA檢(jiǎn)測、滅火裝(zhuāng)置。
◆機(jī)架及全封閉外罩HEPA高效空氣過濾器,防止二次汙染。
◆采用多種清洗頻率清洗設備:40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。
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