產（chǎn）品功能:

◆設備烘幹，然結（jié）一體化結構緊湊合理，符合（hé）半導體（tǐ）製造標準。

◆穩定可靠的工藝溫（wēn）度控製係統（采用英國WEST溫度控製器（qì））。

◆采用美國進口加熱燈管加熱。

◆采用先（xiān）進的文氏排（pái）氣係統，從而保證了有（yǒu）害氣（qì）體的不泄露。

◆設備控製采用工業控製機統一控製。